Il-valv tal-vakwu huwa apparat ewlieni għar-regolazzjoni tal-fluwidu f'ambjent bil-vakwu permezz ta 'siġillar ta' preċiżjoni u kontroll tas-sewqan. Il-mekkaniżmu ta 'ħidma tiegħu jista' jinqasam fil-moduli ewlenin li ġejjin:
1. Mekkaniżmu tax-xogħol ewlieni
Il-partizzjoni li tissaħħaħ
L-adozzjoni tas-siġill dinamiku tal-minfaħ kollu tal-metall (minflok l-ippakkjar tradizzjonali), il-minfaħ jespandi u jikkuntratta meta ż-zokk tal-valv jiċċaqlaq biex iżomm l-arja tal-kamra tal-vakwu, u r-rata ta 'tnixxija hija inqas minn jew daqs 1 × 10⁻¹⁰ pa · m³ / s.
Meta l-bieb jingħalaq, jifforma tajbin molekulari mas-sedil tal-valv illustrat mill-mera (RA inqas minn jew daqs 0.2μm), u jikkoopera maċ-ċirku tas-siġillar tal-liga tar-ram biex itejjeb l-effett tas-siġillar tal-kuntatt.
Rive Control
Manual Type: Trasmissjoni tal-Gear Worm, il-minfaħ huwa mmexxi 'l fuq u' l isfel billi jdur il-handwheel, u t-torque huwa inqas minn jew daqs 15N · M4.
Elettriku tat-tip: drive tal-mutur stepper, preċiżjoni tal-pożizzjonament ta '0.01mm, adattat għas-sistema ta' trasmissjoni tal-wejfer semikondutturi.
Pneumatic Type: arja kkompressata tmexxi l-pistun taċ-ċilindru, il-ħin tar-rispons huwa<1s, and it is used for emergency isolation of spacecraft vacuum chambers.
Bilanċ tal-pressjoni
Il-korp tal-valv huwa mgħammar b'port ta 'estrazzjoni ta' arja awżiljarja KF16. Qabel il-ftuħ u l-għeluq, pompa tal-vakwu indipendenti tintuża biex tibbilanċja d-differenza tal-pressjoni bejn il-kavità tal-valv u s-sistema (ΔP ＜ 10Pa) biex tevita t-tfixkil tal-fluss tal-arja.
2. Mod ta 'Ħidma Tipiku
| Mod | Proċess ta 'tħaddim | Applikazzjoni |
|---|---|---|
| Magħluq fully | Il-bieb jagħfas kompletament is-sedil tal-valv biex jifforma siġill doppju (minfaħ + wiċċ tal-kuntatt) | Iżolament tat-tubu tal-aċċeleratur tal-partikuli |
| Regolazzjoni tal-fluss | Il-ftuħ tal-pjanċa tal-valv huwa kkontrollat b'10% -90%, u l-kontroll tal-fluss lineari jinkiseb permezz tal-kanal tat-throttling b'forma ta 'V | Injezzjoni tal-gass għal proċess ta 'kisi bil-vakwu |
| Qatgħa malajr | L-attwatur pnewmatiku jqajjem proċedura ta 'għeluq ta' emerġenza, ħin ta 'rispons inqas minn jew daqs 0.3s | Emerġenza ta 'tnixxija ta' apparat ta 'fużjoni nukleari |
| Manutenzjoni tal-pressjoni | Marbut mal-manometru tal-vakwu, il-ftuħ tal-valv huwa awtomatikament irranġat biex iżomm il-grad tal-vakwu stabbilit (± 0.5Pa) | Kamra ta 'Simulazzjoni tal-Ambjent Spazjali |
3. Karatteristiċi tal-materjal u tal-proċess
Valve Body: 316L Lustrar elettrolitiku tal-istainless steel ultra-baxx tal-karbonju, li jnaqqas l-erja tal-wiċċ tal-adsorbiment tal-gass b'aktar minn 60%
Komponenti li jissieħbu : minfaħ Hastelloy C-276 (reżistenti għal 100,000 ċikli ta 'għeja) + ċirku tas-siġillar tar-ram ħieles mill-ossiġnu (ebusija Vickers HV80)
It-trattament tal-wiċċ tal-wiċċ : Issiġillar tal-wiċċ tal-wiċċ li jispiċċa plating tat-titanju (ħxuna 2μm), koeffiċjent tal-frizzjoni mnaqqas għal 0.08.
4. Tqabbil tax-xenarju tal-applikazzjoni
| Qasam | Tip ta 'valv | Rekwiżiti tal-vakwu | Bżonnijiet speċjali |
|---|---|---|---|
| Manifattura tas-semikondutturi | Valv tal-vakwu għoli elettriku | Inqas minn jew daqs 1 × 10⁻⁷ PA | Reżistenti għal baking ta '150 grad, rilaxx ta' partiċelli żero |
| Ittestjar tal-vetturi spazjali | Valv ta 'għeluq ta' malajr pnewmatiku | Inqas minn jew daqs 1 × 10⁻⁵ PA | Reżistenza għall-Vibrazzjoni (20-2000Hz) |
| Sors ta 'radjazzjoni ta' synchrotron | Valv tal-bieb imkessaħ bil-likwidu | Inqas minn jew daqs 1 × 10⁻⁹ PA | Ġakketta tat-tkessiħ tan-nitroġenu likwidu (-196 grad) |
| Apparat tal-fużjoni nukleari | Valv ta 'iżolament reżistenti għar-radjazzjoni | Inqas minn jew daqs 1 × 10⁻⁴ PA | Reżistenza għall-irradjazzjoni tan-newtroni (10¹⁹ N / cm²) |
5. Parametri tal-Limitu tal-Prestazzjoni
Firxa tat-temperatura: -269 grad (tip ta 'tkessiħ tal-elju likwidu) sa 450 grad (tip ta' liga ta 'temperatura għolja)
Firxa tad-Dijametru: Valv mikro φ6mm għal valv tal-kamra tal-vakwu kbir φ1200mm
Indiċi tal-Ħajja: Assemblea tas-siġill tal-minfaħ akbar minn jew daqs 50,000 ċiklu tal-ftuħ u tal-għeluq